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第1章 晶圆制造系统1

1.1 半导体制造产业1

1.1.1 半导体制造产业的发展与现状1

1.1.2 未来半导体制造产业面临的挑战6

1.2 半导体芯片制造工艺7

1.2.1 晶圆制备7

1.2.2 晶圆制造7

1.2.3 晶圆拣选测试10

1.2.4 芯片封装10

1.2.5 芯片封装测试11

1.3 晶圆制造系统的构成11

1.3.1 晶圆加工系统11

1.3.2 晶圆制造物料运输系统15

1.4 晶圆制造系统的调度17

本章参考文献18

第2章 晶圆制造自动化物料运输系统21

2.1 晶圆制造物料运输系统的发展21

2.1.1 半自动化物料运输系统21

2.1.2 自动化物料运输系统22

2.1.3 智能化物料运输系统23

2.2 晶圆制造自动化物料运输系统的组成24

2.2.1 晶圆卡24

2.2.2 传送系统25

2.2.3 存储系统27

2.2.4 跟踪系统28

2.2.5 控制系统29

2.3 晶圆制造物料运输系统布局29

2.3.1 单脊椎型布局29

2.3.2 双脊椎型布局30

2.3.3 整体式布局30

2.3.4 周边布局31

2.3.5 混合式布局33

2.4 晶圆制造自动化物料运输系统的特点33

本章参考文献34

第3章 晶圆制造AMHS的建模35

3.1 基于网络流模型的晶圆制造AMHS建模35

3.1.1 网络流模型基本理论35

3.1.2 晶圆制造AMHS网络流建模过程36

3.2 基于排队论模型的晶圆制造AMHS建模40

3.2.1 排队论模型基本理论40

3.2.2 晶圆制造AMHS排队论建模过程42

3.3 基于数学规划模型的晶圆制造AMHS建模46

3.3.1 数学规划模型基本理论46

3.3.2 晶圆制造AMHS数学规划建模过程48

3.4 基于马尔可夫模型的晶圆制造AMHS建模49

3.4.1 马尔可夫模型基本理论50

3.4.2 晶圆制造AMHS马尔可夫建模过程51

3.5 基于仿真模型的晶圆制造AMHS建模53

3.5.1 仿真模型基本理论54

3.5.2 晶圆制造AMHS仿真建模过程55

3.6 基于Petri网模型的晶圆制造AMHS建模62

3.6.1 Petri网模型基本理论62

3.6.2 晶圆制造AMHS的Petri网建模过程63

3.7 本章小结70

本章参考文献70

第4章 晶圆制造AMHS运行特性分析72

4.1 AMHS运行过程描述72

4.2 常用AMHS运行分析方法73

4.3 晶圆制造AMHS扩展马尔可夫模型75

4.3.1 参数定义与假设75

4.3.2 扩展马尔可夫模型定义77

4.3.3 扩展马尔可夫模型的分析过程78

4.3.4 模型有效性验证85

4.4 基于扩展马尔可夫模型的AMHS运行分析90

4.4.1 运输小车平均利用率分析90

4.4.2 空载运输小车平均到达时间间隔分析92

4.4.3 期望和实际运输量分析93

4.4.4 晶圆卡等待时间分析94

4.4.5 运输小车堵塞相关指标分析97

4.4.6 AMHS运行分析实例100

4.5 本章小结103

本章参考文献103

第5章 晶圆制造AMHS调度方法104

5.1 基于启发式规则的晶圆制造AMHS调度104

5.1.1 启发式规则概述104

5.1.2 启发式规则在晶圆制造AMHS调度中的应用108

5.2 基于运筹学方法的晶圆制造AMHS调度111

5.2.1 运筹学方法概述111

5.2.2 运筹学方法在AMHS调度中的应用115

5.3 基于智能算法的晶圆制造AMHS调度119

5.3.1 智能算法概述119

5.3.2 智能算法在AMHS调度中的应用126

5.4 本章小结132

本章参考文献132

第6章 Interbay物料运输系统调度134

6.1 Interbay物料运输调度问题描述134

6.2 基于AMPHI的Interbay物料运输调度方法136

6.2.1 基于AMPHI的Interbay物料运输调度模型136

6.2.2 基于AMPHI的Interbay物料运输系统调度框架138

6.2.3 Interbay物料运输任务指派139

6.2.4 基于模糊逻辑的参数权重调节144

6.2.5 实例验证152

6.3 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度方法161

6.3.1 Interbay物料运输全局优化调度模型162

6.3.2 基于复合启发式规则的Interbay物料运输调度框架164

6.3.3 基于遗传规划的复合规则生成算法165

6.3.4 实例验证173

6.4 本章小结177

本章参考文献178

第7章 Intrabay物料运输系统调度179

7.1 Intrabay物料运输调度问题描述179

7.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度方法180

7.2.1 基于GDP的Intrabay物料运输调度模型180

7.2.2 基于GDP的Intrabay物料运输调度框架183

7.2.3 基于模糊逻辑的晶圆卡运输动态优先级决策183

7.2.4 基于匈牙利算法的Intrabay物料运输任务指派方法187

7.2.5 基于贪婪优化的运输小车调度策略188

7.2.6 实例验证189

7.3 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度方法193

7.3.1 基于推拉结合策略的Intrabay物料运输调度框架196

7.3.2 推拉结合的VSL和LSV调度规则196

7.3.3 实例验证198

7.4 本章小结203

本章参考文献203

第8章 晶圆制造AMHS集成调度204

8.1 AMHS集成调度问题描述204

8.2 基于PMOGA的AMHS集成调度方法206

8.2.1 基于PMOGA的AMHS集成调度模型206

8.2.2 基于PMOGA的AMHS集成调度框架208

8.2.3 面向AMHS集成调度的并行多目标遗传算法208

8.2.4 实例验证219

8.3 基于GARL的AMHS复合启发式集成调度方法223

8.3.1 AMHS集成调度基本规则223

8.3.2 小车路径库构建224

8.3.3 基于遗传算法的路径智能选择算法224

8.3.4 实例验证224

8.4 本章小结228

本章参考文献228

第9章 晶圆制造AMHS调度性能评价230

9.1 AMHS调度性能评价的建模需求230

9.2 基于面向多代理的知识有色赋时Petri网模型的AMHS建模方法232

9.2.1 面向多代理的知识有色赋时Petri网的定义232

9.2.2 基于AOCKTPN的AMHS建模过程235

9.2.3 AOKCTPN模型的可行性分析247

9.3 基于AOKCTPN模型的AMHS调度性能评价251

9.3.1 变迁时间分析251

9.3.2 调度性能评价指标252

9.3.3 调度性能评价方法253

9.4 晶圆制造AMHS调度性能评价实例254

9.4.1 AOKCTPN模型可行性的实例验证254

9.4.2 基于AOKCTPN模型的AMHS调度性能评价254

9.5 本章小结261

本章参考文献262

后记263