图书介绍

半导体表面钝化 专题文摘【2025|PDF下载-Epub版本|mobi电子书|kindle百度云盘下载】

半导体表面钝化 专题文摘
  • 中国科学技术情报研究所重庆分所编辑 著
  • 出版社： 北京：科学技术文献出版社；重庆分社
  • ISBN：15176·320
  • 出版时间：1978
  • 标注页数：61页
  • 文件大小：8MB
  • 文件页数：63页
  • 主题词：

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图书目录

一、述评和文献目录1

二、钝化1

目录1

三、钝化机理5

四、制备方法14

1．化学汽相淀积（CVD）14

2．热氧化24

3．溅射和蒸发27

5．阳极氧化29

5．磷硅玻璃31

6．其他方法35

1．电学性质38

五、特性38

2．表面态42

3．界面性质47

4．辐射效应51

5．C-V和Ⅰ-V特性52

6．其它性质54

六、测量55

1．电参数55

2．结构和缺陷57

3．厚度58

4．沾污和杂质58

5．应力61

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